¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷Àº ¸Þ¸ð¸® ºÐ¾ß¿Í ºñ¸Þ¸ð¸® ºÐ¾ß·Î ³ª´¶´Ù. ¿ì¸®°¡ ¾ÕÀ¸·Î ÁÖ¸ñÇØ¾ß ÇÒ ºÐ¾ß°¡ ¹Ù·Î ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ºñ¸Þ¸ð¸® ºÐ¾ß´Ù. 11¿ù 25ÀÏ ¹æ¼ÛµÉ ¡®Á߰߸¸¸® ½ÃÁð2¡¯ ÃÖÁ¾È¸ÀÎ 6ȸ¿¡¼´Â ÀÌ·± ¹ÝµµÃ¼ ºñ¸Þ¸ð¸® ºÐ¾ßÀÇ ¹Ì·¡¸¦ Ã¥ÀÓÁö±â À§ÇØ ¾Ö¾²´Â Áß°ß±â¾÷ ¼¼ °÷À» ¼Ò°³ÇÑ´Ù.
(ÁÖ)¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â °æ±âµµ ȼº¿¡ À§Ä¡, ¹ÝµµÃ¼¿Í µð½ºÇ÷¹ÀÌ »ý»ê¿¡ µé¾î°¡´Â ¼ÒÀç¿Í ¼³ºñ µîÀ» Á¦Á¶ °ø±ÞÇÏ´Â Áß°ß±â¾÷À¸·Î ¿ÃÇØ ⸳ 33ÁÖ³âÀÌ µÇ´Â ±â¾÷ÀÌ´Ù.
µ¶ÀϺе¥½º¸®°¡
°æ±â±¤ÁÖ¿ë´ÞÀÌ»ç
ºÐµ¥½º¸®°¡Áß°è
¾Æ½Ã¾ÆÃ౸Áß°è
ÆÄ¿öº¼
nbaºÐ¼®
»ç´Ù¸®Â÷¿ä±Ý
¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î°¡ ±×·ÁÁø »çÁø±âÆÇÀ» º¸È£ÇÏ´Â º¸È£¸·ÀÎ Æç¸®Å¬(Pellicle)À» ±¹³»¿¡¼ À¯ÀÏÇÏ°Ô »ý»êÇÑ´Ù. (ÁÖ)¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼ÀÇ Çٽɱâ¼úÀº ¿Âµµ¿¡ ±Øµµ·Î ¹Î°¨Çϰí ÇÑ ´ë¿¡ ¼ö¹é ¾ï ¿ø¾¿ ÇÏ´Â °í°¡ ¹ÝµµÃ¼ ÀåºñÀÇ ¿ÂµµÁ¶ÀýÀ» ÇÏ´Â ³Ãµ¿±â (Chiller)¸¦ »ý»êÇÏ´Â ±â¼úÀÌ´Ù. ¿©±â¿¡ ¸ØÃßÁö ¾Ê°í, ¾ÆÁ÷ ¼¼°èÀûÀ¸·Î °³¹ßµÈ Á¦Ç°ÀÌ ¾ø°í, 1Àå¿¡ ¼ö õ ¸¸¿øÀÌ ³Ñ°í ³»³â¿¡¸¸ Àü ¼¼°èÀûÀ¸·Î 2¸¸Àå ÀÌ»óÀÇ ¼ö¿ä°¡ ¿¹»óµÇ´Â Àڿܼ±(EUV¿ë) Æç¸®Å¬ °³¹ßÀ» À§ÇØ ¿¬±¸ °³¹ß¿¡ ¸ÅÁøÇϰí ÀÖ´Ù.